電子束
在真空中汇 集成一细束的电子流。示波管、显像管、摄像管以及某些微波电子管等电真空器件和电子束加工机、电 子束焊接机等设备,都是利用电子束进行工作的。
[diàn zǐ shù]
用电子束刻蚀法在晶片上镀上纳米级铝层形成了电感器。
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